产品介绍

Imm CC-0G-800-CombiCleaner 是一款专为 高洁净度工业场景（如半导体制造、光学元件加工、生物医药实验室）设计的 模块化自动清洁装置。其核心创新在于 摒弃传统吸尘器外壳，采用 轻量化铝合金框架搭配高透防静电亚克力防护罩，在保证防尘性能的同时，实现 更紧凑的结构、更低的维护成本及更高的清洁效率。设备支持 高压喷流、雾化清洗、动态气流分离 三大功能，可适配 异丙醇、去离子水等清洗液，清洁后工件表面 0.1微米以上颗粒残留量低于10颗/平方厘米，满足 ISO 14644-1 Class 1至Class 5无尘车间标准，是精密制造领域提升良率的关键设备。

功能特点

无外壳设计，灵活适配多元场景

防护罩可快速拆卸，支持 开放空间清洁（如实验室台面）或 密闭无尘室嵌入（如机械臂末端），适配产线改造需求；

整机重量仅55公斤，体积较同类设备缩小30%，可轻松部署于 狭小产线、移动清洁车或层流罩下方。

三组双喷嘴，全域覆盖清洁

每组包含 高压直射喷嘴（0.2毫米孔径） 与 广角雾化喷嘴（0.5毫米孔径），喷流速度达120米/秒，覆盖直径800毫米圆形区域；

喷嘴角度15度至120度可调，旋转速度0至3000转/分钟可调，可精准清洁 晶圆、镜片、PCB等异形工件 的边缘与曲面。

四级动态气流分离，高效回收污染物

通过 惯性分离、旋风分离、静电吸附及冷凝回收，分离0.1微米至100微米颗粒，回收率超99%；

静电场电压10千伏，可捕获金属离子等带电微粒，避免二次污染，尤其适合 半导体刻蚀后残留物清洁。

智能化控制，自主优化参数

7英寸触摸屏支持存储1000组以上清洁程序，AI算法根据历史数据自动调整喷嘴压力、旋转速度；

集成 颗粒计数器、温度传感器、液位传感器，实时监控清洁质量与设备状态，异常时自动报警并停机。

选型指南

根据清洁对象尺寸选择

清洁直径≤800毫米的工件（如12英寸晶圆、大型光学镜片）推荐CC-0G-800；

清洁直径≤300毫米的工件（如手机摄像头模组）可选用轻量化版CC-0G-300，重量仅35公斤。

根据清洁环境选择防护等级

Class 1-3无尘车间标配IP65防护等级，防尘防水；

防爆车间需选配防爆电机与静电接地装置，需提前与厂商沟通定制。

根据清洗液类型选择喷嘴材质

使用异丙醇、丙酮等有机溶剂时，喷嘴需升级为聚四氟乙烯（PTFE）涂层，耐腐蚀；

使用去离子水时，标配硬质合金基体加类金刚石涂层，耐磨损。

技术参数

最大清洁直径：800毫米

喷嘴压力范围：0.1至0.5兆帕（可调）

喷流速度：120米/秒

气流分离效率：0.1微米颗粒>99.99%

噪音水平：低于65分贝（距设备1米处）

电源：220伏/50赫兹，功率3千瓦

防护等级：IP65（防尘防水）

产品尺寸

外形尺寸（长×宽×高）：900毫米×700毫米×1200毫米

防护罩厚度：10毫米（高透亚克力，透光率>90%）

安装方式：支持地面固定或机械臂悬挂（需额外适配支架）

应用领域

半导体制造：清洗12英寸晶圆、光刻胶残留、金属杂质；

光学元件加工：清洁手机摄像头镜片、激光晶体、滤光片；

生物医药实验室：消毒PCR管、培养皿、手术器械（需配合生物安全型清洗液）；

精密电子组装：去除PCB助焊剂、高密度互联（HDI）板灰尘。

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