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在 半导体制造、光学元件加工、生物医药实验室及精密电子组装 等领域,工件表面的 纳米级污染物残留(如金属离子、有机胶体、纤维颗粒)会直接影响产品性能、良率甚至安全性。传统清洁设备因 集成吸尘器外壳导致结构冗余,存在 气流干扰、维护复杂及清洁效率受限等问题。德国lmm CC-0G-300 CombiCleaner自动清洁装置 通过 模块化极简设计、多级动态气流控制及AI自适应算法,实现了 无尘环境下的超净清洁、快速维护及低能耗运行,成为高洁净度要求场景的理想选择。
一、核心设计:无吸尘器外壳的“轻量化与高集成度”突破
CC-0G-300 摒弃传统设备的 吸尘器外壳+外置风道结构,采用 一体化铝合金框架+高透防静电亚克力防护罩(透光率 >90%),整机重量仅 35kg(较同类设备轻 40%),可直接嵌入 无尘车间工作台或机械臂末端,适配 狭小空间或自动化产线。
其核心清洁模块集成 三组可旋转喷流单元(每组含 双喷嘴,喷流角度 15°-120° 可调)与 四级动态气流分离系统,所有部件均采用 IP65防护等级(防尘防水),可耐受 0.5MPa高压气流及 -20℃至80℃ 极端温度,寿命超 10万小时(连续运行工况)。
无外壳设计的优势:
减少气流阻力:消除外壳与风道间的湍流,喷流速度提升 30%(达 120m/s),清洁效率提高 50%;
降低维护成本:无外壳遮挡,喷嘴、滤网等部件可 30秒内快速拆卸更换,年维护费用减少 60%;
兼容多元环境:防护罩可拆卸,适配 开放空间清洁(如实验室台面)或 密闭无尘室(如Class 100洁净车间)。
二、三组双喷嘴与动态气流控制:从“单向喷流”到“全域覆盖”
1. 喷嘴设计:高压+超细+可调
每组双喷嘴由 一个高压直射喷嘴(孔径 0.2mm,压力 0.1-0.5MPa 可调)与 一个广角雾化喷嘴(孔径 0.5mm,雾化角度 60°-120° 可调)组成,材质为 硬质合金基体+类金刚石涂层,耐磨损且抗化学腐蚀(适配 异丙醇、去离子水等清洗液)。
高压直射喷嘴:用于清除 顽固污渍(如金属氧化物、碳化残留),喷流冲击力达 5N(距工件 10mm 处),可剥离 10μm 以上颗粒;
广角雾化喷嘴:用于清洗 精密表面(如光学镜片、半导体晶圆),生成 平均粒径 <10μm 的微雾,避免液滴残留导致的二次污染。
三组喷嘴呈 120°环形分布,通过 独立伺服电机驱动旋转(转速 0-3000rpm 可调),可覆盖 直径 300mm 圆形区域(适配 12英寸晶圆、手机摄像头模组等工件),清洁均匀性(CV值) <5%。
2. 动态气流控制:四级分离+实时调节
清洁过程中,喷流携带污染物进入 四级动态气流分离系统,通过 惯性分离、旋风分离、静电吸附及冷凝回收 实现污染物的 高效拦截与分类回收:
一级惯性分离:气流以 30m/s 速度通过 锥形导流板(夹角 135°),分离 >5μm 颗粒,效率 98%;
二级旋风分离:气流进入 螺旋通道(螺距 5mm),利用离心力分离 0.5-5μm 颗粒,效率 99.5%;
三级静电吸附:气流通过 高压静电场(电压 10kV),捕获 0.1-0.5μm 带电颗粒(如金属离子),效率 99.99%;
四级冷凝回收:剩余气流经 热交换器(冷却温度 5℃)冷凝,回收清洗液(如异丙醇)及水蒸气,回收率 >99%。
系统通过 压力传感器与 流量传感器实时监测气流状态,自动调节 喷嘴压力、旋转速度及分离效率(如清洗晶圆时降低喷嘴压力至 0.2MPa,避免液滴飞溅),确保清洁过程 稳定可控。
三、智能化控制:从“人工设定”到“自主优化”
CC-0G-300 搭载 7英寸高清触摸屏,支持 中、英、德三语操作,用户可自定义 1000组以上清洁程序(存储喷嘴压力、旋转速度、分离效率及清洁时间等参数)。设备内置 AI学习算法,可根据历史数据自动优化参数(如针对某型号手机摄像头模组,系统自动调整喷嘴角度至 45°、压力至 0.3MPa),清洁合格率从 95% 提升至 99.9%。
此外,设备集成 全流程监控系统:
颗粒计数器:在线检测清洁后工件表面 0.1μm 以上颗粒数,数据实时上传至 MES 系统;
温度传感器:控制清洗液温度在 20-60℃(可调),防止热敏工件(如塑料元件)变形;
液位传感器:监测冷凝回收单元液位,低液位自动报警并启动回收程序;
振动传感器:检测喷嘴堵塞或机械故障,提前预警避免设备停机。
设备通过 CE、ISO 14644-1 Class 1 及 SEMI S2 安全认证,适配 无尘车间、防爆车间及实验室 等场景。
四、典型应用与用户价值
1. 半导体制造:晶圆的“无损清洁”
清洗 12英寸单晶硅晶圆 时,广角雾化喷嘴生成 微米级雾滴,配合静电吸附分离系统,清除 光刻胶残留、金属杂质及颗粒,清洁后表面颗粒数 <10颗/cm²(粒径 >0.1μm),满足 SEMI M39 标准,单片清洗时间从 5分钟 缩短至 1.5分钟。
2. 光学元件加工:镜片的“超净清洁”
清洗 手机摄像头镜片 时,高压直射喷嘴清除 镀膜残留的胶体颗粒,旋风分离系统捕获 0.5μm 以上纤维,清洁后镜片透光率 >99.9%,杂散光 <0.1%,良品率提升 20%。
3. 生物医药实验室:器具的“生物安全清洁”
清洗 PCR管、培养皿等塑料器具 时,低温清洗液(25℃)配合静电吸附分离,清除 DNA残留及蛋白质污染,清洁后器具表面 ATP值 <10 RLU(满足 USP <797> 无菌标准),实验重复性提高 30%。
4. 精密电子组装:PCB的“无静电清洁”
清洗 高密度互联PCB 时,防静电亚克力防护罩避免喷流产生静电,广角雾化喷嘴清除 助焊剂残留及灰尘,清洁后表面离子污染度 <1.0μg NaCl/cm²,满足 IPC-TM-650 2.3.25 标准,焊接良品率提升 15%。
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