一、产品概述

Inficon 398-483 VGC503 是欧洲知名精密仪器制造商 Inficon 推出的一款高性能真空压力表控制器，专为真空系统设计，集压力测量、显示、控制与通信功能于一体。该产品采用先进的传感技术和智能控制算法，能够精确监测真空系统中的压力变化，并根据预设参数自动调节设备运行状态，确保真空工艺的稳定性和可靠性。广泛应用于半导体制造、真空镀膜、科研实验、工业真空等领域。

二、核心技术与性能优势

高精度真空压力测量

VGC503 配备高灵敏度真空传感器，可覆盖从大气压到超高真空（具体量程依型号而定，常见如 1×10⁻³ mbar 至 1200 mbar）的宽范围压力测量，满足不同真空工艺需求。

测量精度高达 ±0.5% FS（满量程），温度补偿技术有效减少环境温度波动对测量结果的影响，确保长期稳定性。

智能控制功能

内置微处理器，支持多段压力控制程序设定。用户可通过前面板或上位机软件设置目标压力值、控制模式（如 PID 控制）、响应时间等参数，实现自动化真空工艺控制。

支持多种控制输出，如模拟信号（0-10 V、4-20 mA）或数字信号（RS-485、Profibus、DeviceNet 等），可与真空泵、阀门、质量流量控制器等设备联动，构建完整的真空控制系统。

快速响应与抗干扰能力

传感器响应时间短（通常 ≤100 ms），能够实时跟踪真空系统中的压力变化，确保控制精度。

电路设计采用多重滤波和屏蔽技术，有效抑制电磁干扰（EMI）和射频干扰（RFI），适用于复杂工业环境。

直观显示与操作界面

前面板配备高分辨率液晶显示屏（LCD），可同时显示实时压力值、单位、设定值、控制状态等信息，支持多语言菜单（如英语、德语、中文等）。

按键操作简单直观，支持参数锁定功能，防止误操作导致工艺中断。

可靠性与耐用性

外壳采用高强度工程塑料或金属材质，防护等级达 IP65（防尘防水），适应恶劣工业环境。

关键部件经过严格筛选和测试，平均无故障时间（MTBF）长达 10 万小时以上，降低维护成本。

三、产品设计与结构特点

模块化设计

VGC503 采用模块化结构，传感器、控制电路、显示单元等部件独立封装，便于快速安装、调试和维修。

支持热插拔功能，可在不中断系统运行的情况下更换模块，提高设备可用性。

紧凑型尺寸

产品体积小巧（如 96×96 mm 标准 DIN 面板安装尺寸），节省安装空间，便于集成到现有设备或控制柜中。

多种接口选项

提供多种电气接口和通信协议选项，可与不同品牌的真空设备无缝对接，降低系统集成难度。

支持远程监控功能，通过以太网或无线模块实现数据传输和远程操作。

四、应用领域

半导体制造

在晶圆加工、光刻、蚀刻等工艺中，VGC503 用于监测和控制真空腔室内的压力，确保工艺参数的精确性，提高产品良率。

与干泵、分子泵、闸板阀等设备联动，实现自动化真空系统控制。

真空镀膜

在物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）等镀膜工艺中，压力控制对薄膜质量至关重要。VGC503 可实时监测镀膜过程中的真空度，并通过控制气体流量或泵速维持稳定工艺条件。

科研实验

高校和科研机构在材料科学、表面物理、化学分析等领域的研究中，需要精确控制真空环境。VGC503 凭借其高精度和灵活性，成为实验室真空系统的理想选择。

工业真空

在包装、干燥、冷冻干燥、真空炉等工业应用中，VGC503 用于监测和控制真空系统压力，优化工艺流程，提高生产效率。

‍对于需要进一步了解或采购相关产品的用户，建议联系上海萨帛机电控制系统有限公司info@sahbore.com，以获取详细的技术规格和专业的客户支持

‍