一、产品概述

Inficon 375-001-CDG025D 电容压力计是欧洲知名精密仪器制造商 Inficon 推出的一款高性能压力测量设备。该产品基于电容传感技术，通过检测电容变化来精确测量气体或液体的压力，具有高精度、高稳定性和快速响应的特点，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、科研实验等对压力控制要求极高的领域。

二、核心技术与性能优势

电容传感技术

采用先进的电容薄膜传感元件，其核心是一个由金属化薄膜构成的平行板电容器。当压力作用于薄膜时，薄膜发生微小形变，导致电容值变化。通过精密电路将电容变化转换为可测量的电信号，实现压力的精确测量。

该技术具有极高的灵敏度，能够检测到微小的压力变化，确保测量结果的准确性。

高精度测量

375-001-CDG025D 的测量精度可达 ±0.25% FS（满量程），能够满足高精度工业应用的需求。

在低温漂设计下，环境温度变化对测量结果的影响极小，确保长期稳定运行。

宽量程与快速响应

量程范围覆盖 0-25 Torr（或其他可选量程），适用于不同压力场景的测量需求。

响应时间短，能够快速跟踪压力变化，为实时控制系统提供可靠的数据支持。

抗干扰能力强

电路设计采用多重滤波和屏蔽技术，有效抑制电磁干扰和噪声信号，确保测量信号的纯净性。

适用于复杂工业环境，如存在强电磁场或高频信号的场合。

长寿命与低维护

传感元件采用耐腐蚀材料制造，能够抵抗大多数气体和液体的侵蚀，延长使用寿命。

结构设计合理，无机械运动部件，减少了磨损和故障率，降低了维护成本。

三、产品设计与结构特点

紧凑型设计

375-001-CDG025D 采用紧凑型外壳设计，体积小巧，便于集成到现有设备或系统中。

接口设计标准化，支持多种信号输出方式（如模拟信号、数字信号），方便与控制系统连接。

优质材料与工艺

外壳采用高强度不锈钢或铝合金材料，具有良好的机械强度和抗腐蚀性。

内部电路板采用多层板设计，布局合理，确保信号传输的稳定性和可靠性。

密封性能优异

关键部位采用特殊密封结构，确保压力计在真空或高压环境下无泄漏，满足高精度测量的要求。

适用于需要高密封性的应用场景，如真空系统、高压容器等。

四、应用领域

半导体制造

在半导体生产过程中，压力控制对晶圆加工质量至关重要。375-001-CDG025D 用于监测真空腔室、化学气相沉积（CVD）设备、物理气相沉积（PVD）设备中的压力，确保工艺参数的精确控制。

真空镀膜

在真空镀膜行业中，压力计用于监测镀膜过程中的真空度，确保薄膜沉积的均匀性和质量。其高精度和快速响应特性能够满足镀膜工艺对压力控制的严格要求。

科研实验

科研机构在材料科学、化学、物理学等领域的研究中，经常需要精确测量气体或液体的压力。375-001-CDG025D 凭借其高精度和可靠性，成为实验室压力测量的理想选择。

工业自动化

在工业自动化控制系统中，压力计用于监测管道、容器中的压力，为过程控制提供实时数据。其抗干扰能力强和长寿命的特点，确保了系统的稳定运行。

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