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KEMET 32-MS368 Microsharp 是专为 高精度平面研磨与抛光 设计的铜基研磨盘,属于KEMET Microsharp系列的高端产品线。该产品结合了铜的高导热性、高延展性以及精密加工工艺,适用于光学元件、半导体晶圆、陶瓷基板等对表面平整度要求极高的行业。其核心优势在于 通过铜基体与微米级磨料的协同作用,实现高效材料去除与超低表面粗糙度,是传统研磨盘的高性能替代方案。
铜基体材料特性
高导热性:铜的热导率(401 W/m·K)是铝的1.7倍,可快速分散研磨过程中产生的热量,避免工件因局部过热导致变形或烧伤,尤其适合热敏感材料(如蓝宝石、玻璃)的加工。
高延展性:铜的延展率(约45%)远高于钢(约25%),在研磨压力下能轻微变形以贴合工件表面微小凹凸,减少边缘崩裂风险,提升良品率。
耐腐蚀性:基体表面经特殊钝化处理,可抵抗研磨液中的弱酸性成分(如氧化铝悬浮液中的pH调节剂),延长使用寿命。
尺寸与结构优化
规格:直径368mm、厚度10mm,兼顾研磨稳定性与操作灵活性,适配多数手动研磨机及小型自动化设备。
中心孔设计:默认配置φ75mm中心孔,可选配φ50mm或键槽结构(需定制),确保与设备主轴的同轴度≤0.02mm。
边缘倒角:盘体边缘采用C0.5mm倒角处理,减少安装时划伤操作人员或设备的风险。
基础参数
材料:铜基体(纯度≥99.9%),表面磨料层厚度约0.5mm
硬度:铜基体硬度HV 80-100,磨料层硬度HV 2000-3000(金刚石)
密度:8.9g/cm³(铜基体),实际研磨层密度因磨料嵌入而略有增加
研磨性能
玻璃:5-15μm/min(粗抛)
蓝宝石:1-5μm/min(精抛)
陶瓷:3-10μm/min(半精抛)
适用压力:0.5-3kg/cm²(软质材料用低压,硬质材料用高压)
推荐转速:500-2000rpm(根据材料硬度调整,高硬度材料用高速)
材料去除率:
表面粗糙度:可达Ra<0.005μm(配合1μm以下金刚石膏精抛)
环境适应性
工作温度:-10℃至+80℃(避免高温导致铜基体软化)
湿度:≤85%RH(防止研磨液吸湿结块)
存储条件:干燥通风环境,远离强酸强碱(如盐酸、氢氧化钠)
寿命指标
粗抛阶段:可处理工件面积约20-50m²(以3mm厚玻璃为例)
精抛阶段:可处理工件面积约5-15m²(以0.5mm厚蓝宝石为例)
寿命影响因素:磨料粒度、工作压力、冷却液使用频率
光学行业
应用对象:手机摄像头镜片、激光晶体、滤光片、光学窗口片
优势:铜基体的高导热性可防止镜片因研磨热产生应力双折射,微米级沟槽设计避免传统平面盘易产生的“干斑”划痕。
半导体与电子
应用对象:硅晶圆背面减薄、碳化硅衬底抛光、LED芯片基板
优势:铜的延展性可适应晶圆边缘的微小变形,减少崩边;精密平面度确保晶圆全局厚度偏差(TTV)≤1μm。
陶瓷与复合材料
应用对象:氧化锆陶瓷轴承、氮化硅人工关节、陶瓷封装基板
优势:铜基体与陶瓷的硬度匹配性优于钢盘,避免过度切削;磨料层的高硬度可快速去除陶瓷表面加工硬化层。
金属精密加工
应用对象:不锈钢手表外壳、钛合金医疗器械、铝合金反射镜
优势:铜基体不会像钢盘那样在金属表面留下磁性残留,适合对清洁度要求极高的场景;微米级沟槽可存储抛光液,提升光泽度。
安装步骤
清洁主轴:用无尘布擦拭设备主轴表面,去除油污或金属屑。
对准中心孔:将研磨盘中心孔缓慢套入主轴,避免磕碰导致盘面变形。
锁紧螺母:按设备说明书扭矩要求(通常10-15N·m)拧紧螺母,防止研磨时盘体松动。
研磨液选择
粗抛阶段:使用 5-10μm金刚石悬浮液 或 W20氧化铝悬浮液,配合去离子水稀释(稀释比1:5-1:10)。
精抛阶段:使用 0.5-1μm金刚石膏 或 二氧化硅胶体,直接涂抹于盘面,无需稀释。
压力与转速控制
压力:2-3kg/cm²
转速:1500-2000rpm
目的:提高材料去除效率
压力:0.5-1kg/cm²
转速:500-1000rpm
目的:避免压力过大导致材料破裂
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