INFICON 398-483 VGC503真空计控制器是一款欧洲进口的高性能三通道真空测量设备，具备宽压力范围监测、高精度测量、多通道独立控制、智能数据记录与显示、兼容性强、安全可靠及易于维护等特点，适用于半导体制造、真空镀膜、科研实验等对真空度要求严苛的工业场景。以下是对该产品的详细介绍：

一、产品概述

INFICON 398-483 VGC503真空计控制器是INFICON公司生产的一款三通道真空计控制器，能够监测从10⁻¹⁰至1500 mbar（10⁻¹⁰至1125 Torr）的完整压力范围，并记录设定点状态及相关数据。该产品以其高精度、高稳定性和多功能性，在半导体制造、真空镀膜、科研实验等领域得到广泛应用。

二、产品特点

宽压力范围监测：能够覆盖从超高真空到粗真空的完整压力范围，满足不同应用场景的需求。

高精度测量：采用高分辨率16位A/D转换器，确保测量结果的准确性。

多通道独立控制：具备三个独立的测量通道，可同时监测多个真空计，提高工作效率。

智能数据记录与显示：支持数据记录和参数记录功能，可通过USB端口和USB棒实现数据传输。同时，配备液晶显示屏和LED背光源，显示参数、传感器或一般设置，操作简便。

兼容性强：可与各种INFICON主动真空计兼容，如PCG、PSG、MPG、MAG、PEG、BCG、BPG、HPG等。

安全可靠：每个通道拥有两个可自由定义的设定点，设定点带可调迟滞功能，确保系统安全稳定运行。

易于维护：提供详细的操作手册和维护指南，方便用户进行日常维护和故障排查。

三、技术参数

测量范围：10⁻¹⁰至1500 mbar（10⁻¹⁰至1125 Torr）

测量通道：3个

显示：液晶显示屏、LED背光源

模拟输出：0-10 V可编程图表记录器输出，具有对数/线性特性

接口：USB从属设备、主设备和以太网、USB Type A（棒）、USB Type B、FCC68/RJ45

电源：供电电压100-240 V，频率50-60 Hz，功耗≤90 W

工作温度：环境温度+5至+50°C

四、应用场景

半导体制造：用于刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积等设备的真空压力监测。

真空镀膜：在真空镀膜过程中，监测镀膜室的真空度，确保镀膜质量。

科研实验：在实验室中，用于各种需要精确控制真空度的实验场景。

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