欧洲进口的INFICON 375-001 CDG025D电容压力计是一款高精度、温度补偿型真空计，专为恶劣工业环境设计，具备快速稳定、抗腐蚀、防污染等特性，适用于半导体制造、真空镀膜等严苛场景。

核心特性

高精度测量：

测量范围：0.005 Torr至10 Torr（0.0007 Pa至1333 Pa），若需覆盖更广范围（如100 Torr或1000 Torr），需选择同系列其他型号（如377-001或375-000）。

精度：读数的0.2%，分辨率0.0003 Torr（0.00004 Pa），满足半导体工艺对真空度的严苛要求。

温度补偿功能：

温度补偿范围覆盖+10°C至+50°C，减少环境温度波动对测量结果的影响，确保长期稳定性。

抗腐蚀与防污染设计：

传感器采用超纯陶瓷材料，可耐受腐蚀性介质及大气压冲击，预期寿命达数百万次压力循环。

独特的传感器屏蔽设计防止过程污染，确保长期信号稳定性。

快速响应与恢复：

通电后100毫秒内达到稳定状态，从大气压暴露中恢复速度极快，适应频繁启停的工业场景。

便捷操作与集成：

支持一键零点校准和设定点调整，简化调试流程。

提供0-10VDC模拟输出信号，兼容D-sub 15针或BNC电气接口，便于与控制系统集成。

技术参数

法兰接口：DN 16 ISO-KF标准接口，适配对应管路连接。

电气接口：D-sub 15针（male）或BNC，符合标准工业规范。

电源电压：+13V至+32V DC，功耗≤0.3W。

响应时间：100毫秒。

防护等级：IP40。

操作环境：0°C至+70°C，湿度<80%RH（非冷凝）。

储存环境：-20°C至+85°C。

应用场景

半导体制造：

用于刻蚀（Etch）、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、原子层沉积（ALD）等设备的真空压力监测，确保工艺稳定性。

数据存储与显示制造：

为硬盘驱动器、液晶面板制造过程中的真空环节提供压力测量支持，提升产品良率。

工业真空设备：

适配真空烘箱、拉伸机、镀膜机等设备，实现精确的压力控制与过程监控。

食品包装：

用于真空包装机的压力检测，优化包装密封性，延长食品保质期。

选型建议

测量范围：

根据实际需求选择合适的量程，若需覆盖100 Torr或1000 Torr，需选择同系列其他型号。

法兰接口：

确认系统接口类型，若为1/2英寸管、DN 16 CF-R或8 VCR，需选择对应法兰类型的型号。

电气接口：

根据控制系统要求选择D-sub 15针或BNC电气接口，并确认模拟输出信号为0-10VDC线性输出。

温度补偿：

若工作温度超出+10°C至+50°C范围，需评估温度补偿效果或选择特殊型号。

附加功能：

如需RS232接口或双设定点功能，可选择带可选配置的型号（如375-001-RS232）。

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