inficon 398-483 VGC503 真空压力表控制器是德国 INFICON 公司研发的 VGC50x 系列三通道真空计控制器，专为工业真空系统设计，具备高精度、宽量程、智能通信及强环境适应性等特点。以下是详细介绍：

核心特性

高精度测量与控制

采用 16 位 A/D 转换器，测量范围覆盖 10⁻¹⁰ 至 1500 mbar（10⁻¹⁰ 至 1125 Torr），精度达 ±0.5% FS，分辨率高至 0.0003 Torr。

支持三通道独立监测，每个通道配备两个可自由定义的设定点及可调迟滞功能，适配 PID 控制模式，实现自动化真空工艺控制。

智能通信与接口

兼容 USB Type A/B、以太网及工业总线协议（如 Profinet、EtherCAT），支持 0-10V/4-20mA 模拟输出，可与真空泵、阀门等设备联动。

内置微处理器支持多段压力控制程序设定，可通过面板或上位机软件配置参数，实现数据记录、远程监控及固件升级。

强环境适应性

外壳采用高强度工程塑料或金属材质，防护等级达 IP65，适应恶劣工业环境。

工作温度范围 0-70℃，相对湿度 ≤80%（31℃ 以下），耐粉尘、油污、潮湿及酸碱气体侵蚀，适配户外、食品加工、化工清洗等场景。

安全与可靠性

集成报警功能，支持压力高于/低于阈值触发继电器动作，保障系统安全。

平均无故障时间超 10 万小时，支持热插拔功能，便于快速调试与维修。

技术参数

参数类别 规格 

型号 398-483 VGC503 

测量通道 3 通道 

测量范围 10⁻¹⁰ 至 1500 mbar（10⁻¹⁰ 至 1125 Torr） 

精度 ±0.5% FS 

分辨率 0.0003 Torr 

接口类型 USB Type A/B、以太网、工业总线协议（如 Profinet、EtherCAT） 

模拟输出 0-10V/4-20mA 

防护等级 IP65 

工作温度 0-70℃ 

相对湿度 ≤80%（31℃ 以下） 

电源供应 100-240V AC，功耗 ≤90W 

应用场景

半导体制造：用于蚀刻、CVD、PVD、ALD 等设备的真空度控制，提升工艺稳定性与产品良率。

真空镀膜：优化 PVD/CVD 工艺中的真空环境，提高薄膜均匀性与附着力。

科研实验：适配材料科学、表面物理等领域的真空系统，支持高精度实验需求。

工业真空：在真空包装、干燥、真空炉等场景中优化流程效率，降低能耗。

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