欧洲进口 INFICON 375-001 CDG025D 电容压力计是一款高精度、高稳定性的真空测量设备，专为严苛工业环境设计，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、工业真空设备等领域。

核心特性

高精度测量

测量范围：0.005 Torr 至 10 Torr（0.0007 Pa 至 1333 Pa），部分型号可扩展至 100 Torr 或 1000 Torr。

精度：读数的 0.2%，分辨率达 0.0003 Torr（0.00004 Pa），满足半导体工艺对真空度的严苛要求。

温度补偿：覆盖 +10°C 至 +50°C，减少环境波动对测量结果的影响。

耐用性与抗污染设计

传感器采用超纯陶瓷材料，耐受腐蚀性介质及大气压冲击，预期寿命达数百万次压力循环。

专利传感器屏蔽设计防止过程污染，确保长期信号稳定性。

防护等级 IP40，适配 -20°C 至 +70°C 工作温度范围，储存温度 -40°C 至 +85°C。

快速响应与便捷操作

通电后 100 毫秒内达到稳定状态，从大气压暴露中快速恢复，适应频繁启停场景。

支持一键零点校准与设定点调整，简化调试流程。

提供 0-10VDC 模拟输出信号，兼容 D-sub 15 针或 BNC 电气接口，便于与控制系统集成。

技术参数

参数 规格 

型号 375-001 CDG025D 

测量范围 0.005 Torr 至 10 Torr（标准型），可选 100 Torr 或 1000 Torr 型号 

精度 读数的 0.2% 

分辨率 0.0003 Torr（0.00004 Pa） 

响应时间 100 毫秒 

温度补偿范围 +10°C 至 +50°C 

工作温度 0°C 至 +70°C 

储存温度 -20°C 至 +85°C 

防护等级 IP40 

接口类型 DN 16 ISO-KF 法兰（标准型），可选 1/2 英寸管、DN 16 CF-R 或 8 VCR 接口 

电气接口 D-sub 15 针或 BNC 

模拟输出 0-10VDC（线性输出） 

电源电压 +13V 至 +32V DC，功耗 ≤0.3W 

应用场景

半导体制造

用于刻蚀（Etch）、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、原子层沉积（ALD）等设备的真空压力监测，确保工艺稳定性。

适配硬盘驱动器、液晶面板制造过程中的真空环节，提升产品良率。

真空镀膜与包装

用于真空烘箱、拉伸机、镀膜机等设备，实现精确的压力控制与过程监控。

优化真空包装机的密封性，延长食品保质期。

工业真空设备

适配通用高精度压力测量需求，如化工清洗、食品加工等环境。

选型建议

测量范围：根据实际需求选择标准型（0.005-10 Torr）或扩展型（100/1000 Torr）。

接口匹配：确认系统接口类型（如 DN 16 ISO-KF、1/2 英寸管等），选择对应型号。

电气信号：根据控制系统要求选择 D-sub 15 针或 BNC 接口，并确认模拟输出信号为 0-10VDC 线性输出。

特殊需求：若需 RS232 接口或双设定点功能，可选择带可选配置的型号（如 375-001-RS232）。

对于需要进一步了解或采购相关产品的用户，建议联系上海萨帛机电控制系统有限公司info@sahbore.com，以获取详细的技术规格和专业的客户支持