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进口 INFICON 375-001 CDG025D 电容压力计是一款高精度、高稳定性的真空测量设备,专为恶劣工业环境设计。以下是对该产品的详细介绍:
一、核心特性
高精度测量:
测量范围:0.005 Torr 至 10 Torr(0.0007 Pa 至 1333 Pa),满足半导体制造等严苛场景的需求。
精度:读数的 0.2%,分辨率 0.0003 Torr(0.00004 Pa),确保测量结果的准确性。
温度补偿:
温度补偿范围覆盖 +10°C 至 +50°C,减少环境温度波动对测量结果的影响。
抗腐蚀设计:
传感器采用超纯陶瓷材料,可耐受腐蚀性介质及大气压冲击,预期寿命达数百万次压力循环。
防污染设计:
独特的传感器屏蔽设计防止过程污染,确保长期信号稳定性。
快速响应与恢复:
通电后 100 毫秒内达到稳定状态,从大气压暴露中恢复速度极快,适应频繁启停的工业场景。
便捷操作:
支持一键零点校准和设定点调整,简化调试流程。
二、技术参数
电气接口:
提供 D-sub 15 针(male)或 BNC 电气接口,便于与控制系统集成。
模拟输出:
0-10VDC 线性输出,兼容多种控制系统。
电源要求:
电源电压:+13V 至 +32V DC,功耗 ≤0.3W。
防护等级:
IP40,防尘设计,适应恶劣工业环境。
操作环境:
工作温度范围:0°C 至 +70°C。
储存温度范围:-20°C 至 +85°C。
湿度:<80%RH(非冷凝)。
三、应用领域
半导体制造:
用于刻蚀(Etch)、化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、原子层沉积(ALD)等设备的真空压力监测,确保工艺稳定性。
数据存储与显示:
为硬盘驱动器、液晶面板制造过程中的真空环节提供压力测量支持,提升产品良率。
工业真空设备:
适配真空烘箱、拉伸机、镀膜机等设备,实现精确的压力控制与过程监控。
食品包装:
用于真空包装机的压力检测,优化包装密封性,延长食品保质期。
四、选型建议
测量范围:
CDG025D 标准量程为 0.005 Torr 至 10 Torr,若需覆盖更广范围(如 100 Torr 或 1000 Torr),需选择同系列其他型号(如 377-001 或 375-000)。
法兰接口:
标配 DN 16 ISO-KF 法兰接口,若系统接口为 1/2 英寸管、DN 16 CF-R 或 8 VCR,需选择对应法兰类型的型号。
电气接口与模拟输出:
根据控制系统要求选择 D-sub 15 针或 BNC 电气接口,并确认模拟输出信号为 0-10VDC 线性输出。
特殊需求:
若需 RS232 接口或双设定点功能,可选择带可选配置的型号(如 375-001-RS232)。
对于需要进一步了解或采购相关产品的用户,建议联系上海萨帛机电控制系统有限公司info@sahbore.com,以获取详细的技术规格和专业的客户支持
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