进口 INFICON 398-483 VGC503 测量装置控制器是德国英福康公司生产的一款高精度三通道真空压力表控制器，专为工业真空系统设计。以下是对该产品的详细介绍：

一、核心特性

模块化设计：集成高灵敏度真空传感器与智能控制算法，适配 INFICON 系列真空计（如 PSG、PCG、PEG、MAG 等），实现三通道独立监测与控制。

高精度测量：测量范围覆盖 10−10 至 1500 mbar（10−10 至 1125 Torr），分辨率达 16 位 A/D 转换，精度 ±0.5% FS，温度补偿技术减少环境波动影响。

智能控制：内置微处理器支持多段压力控制程序设定，用户可通过面板或上位机软件配置目标压力、控制模式（如 PID 控制）、响应时间等参数，实现自动化真空工艺控制。

环境适应性：外壳采用高强度工程塑料或金属材质，防护等级达 IP65，适应恶劣工业环境。

数据记录与通信：支持 USB Type A（连接存储器）、USB Type B（连接计算机）及以太网接口，实现数据记录、远程监控、固件升级及参数调整。

二、技术参数

电源供应：100-240V AC，频率 50-60Hz，电压波动 ±10%，耗电量 ≤90W。

工作温度：0-70℃，相对湿度 ≤80%（31℃ 以下）。

外形尺寸：285mm×106.3mm×203.5mm（不含配件），重量约 1.14kg。

显示与操作：前面板配备高分辨率 LCD 显示屏与 LED 背光源，支持多语言菜单引导操作，可直观显示实时压力值、设定值、控制状态及条形图趋势。

报警功能：内置报警功能，可根据预设阈值触发继电器动作，支持压力高于上限或低于下限等多种报警逻辑。

设定点与继电器：每个通道配备两个可自由定义的设定点，带可调迟滞功能，继电器触点支持浮动转换，触点额定值 30V AC/1A DC。

三、应用领域

半导体制造：用于监测晶圆加工、光刻、蚀刻等工艺的真空度，确保参数精确性，提升产品良率。

真空镀膜：实时监测镀膜过程中的真空度，通过控制气体流量或泵速维持稳定工艺条件，保障薄膜质量。

科研实验：为材料科学、表面物理、化学分析等领域提供精确真空环境控制。

工业真空：优化包装、干燥、冷冻干燥、真空炉等工艺流程，提高生产效率。

四、维护与保养

定期检查：建议每半年进行功能测试与校准，每月检查电缆连接及绝缘性能，每季度清理传感器表面污染物。

故障排查：可通过 LED 指示灯或内置诊断模块定位故障，如红色常亮需检测传感器电阻（正常值 10-15Ω）。

维护日志：记录维护时间、内容及处理措施，支持数据追溯。

对于需要进一步了解或采购相关产品的用户，建议联系上海萨帛机电控制系统有限公司info@sahbore.com，以获取详细的技术规格和专业的客户支持