德国铜丝棉 250g，布鲁纳克薄膜半导体设备备件

产品概述

德国超细高纯铜丝棉，包装规格 250g，专为 Brunaker（布鲁纳克）薄膜半导体真空镀膜设备配套。由超细电解铜纤维交织形成多孔蓬松棉状材料，在真空腔体内部用作吸气 / 吸附捕集材料，同时具备导热、缓冲、过滤溅射颗粒作用，属于薄膜沉积工艺腔体消耗备件，区别于普通抛光铜丝棉。

核心技术参数

产地：德国

规格：250g / 份

材质：高纯电解铜 E-Cu，纯度≥99.9%

纤维：超细连续铜丝，无粘结剂、无油脂，出厂脱脂清洗

结构：多孔蓬松网状，孔隙率高

耐温：真空环境最高约 600℃

形态：软质可手工撕取塑形

产品特点

高比表面积，真空下吸附水汽、碳氢残余气体，起到冷阱吸气效果，降低本底真空残气，减少薄膜针孔、污点缺陷，提升半导体薄膜成膜质量。

纯铜材质导热优良，贴合腔体冷却件时快速导热，同时可捕获溅射飞溅金属微粒，阻挡大颗粒飞向基片。

质地柔软，可随意裁剪、填充，适配布鲁纳克镀膜机腔体内不规则安装位置；无粘合剂，高温真空下不会释放有机污染物，避免污染薄膜。

出厂彻底脱脂除油，不会带入碳污染，满足半导体薄膜工艺对杂质的严苛控制。

备注：不是抛光耗材，禁止直接擦拭薄膜样品；吸附饱和后，放气性能下降，需要定期更换。在大气环境存放容易氧化，需密封保存。

使用场景

✅ Brunaker 布鲁纳克薄膜半导体真空镀膜机腔体，真空残气吸附、微粒捕集

✅ 薄膜沉积工艺，降低腔体内水、碳氢杂质，减少膜层缺陷

✅ 真空腔体局部导热缓冲、阻挡溅射大颗粒飞溅至基片

✅ 实验室真空薄膜制备设备配套吸气填料

使用与维护要点

开封操作必须洁净手套，严禁手上油脂污染；尽量在洁净环境快速取用，用后立刻密封包装，防止氧化。

只能放置在真空腔的冷却区域，不能直接暴露在高能等离子体长时间轰击，等离子体持续轰击会快速消耗铜丝棉，产生新的金属污染。

吸附饱和、表面发黑氧化、粉化时必须更换；粉化后细小铜颗粒会脱落，造成薄膜器件短路报废。

不可挤压过实，压实会大幅降低孔隙和吸附能力，保留蓬松状态。

废弃件取出后按重金属固废处理，不可随意丢弃。

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