进口inficon 375-001CDG025D电容压力计

核心功能

1. 电容隔膜式绝对压力测量

采用氧化铝陶瓷膜片传感器，依据电容变化测量绝对真空压力；测量结果与气体成分无关，区别于皮拉尼热传导真空计；内置数字温度补偿电路，消除环境温度波动带来测量漂移，保证全工况测量精度INFICON。

2. 抗污染陶瓷传感单元

陶瓷传感器耐腐蚀，可承受数百万次压力循环，可耐受突发大气压冲击；配置专利传感器屏蔽防护结构，减少工艺粉尘、油气对膜片的污染，延长传感器使用寿命INFICON。

3. 一键调零功能

本体自带调零按键，现场可一键零点校准，补偿零点漂移，维护便捷；上电后读数快速稳定，暴露大气压之后可快速恢复测量状态INFICON。

4. 信号输出与开关设定点

输出 0‑10V 标准模拟信号；自带两路可自定义压力设定点，继电器接点输出，可实现压力报警、工艺联锁；支持 RS232 数字通讯，对接控制器或者上位机；可被 VGC503 控制器自动识别Eurovacuum。

5. 洁净真空适配

真空接触部件为 316L 不锈钢、氧化铝陶瓷，满足洁净室工况；法兰可烘烤，适配需要高温除气的真空腔体INFICON。

关键参数

型号：CDG025D，物料号：375‑001

测量原理：陶瓷电容隔膜绝对真空计

满量程：1000 mbar（1000Torr）

测量精度：读数的 ±0.2 % FS

分辨率：0.003% FS

响应时间：30ms

供电：DC14‑30V

模拟输出：0‑10V DC

接点输出：2 路设定点继电器，回差 1% FS

电气接口：15‑Pin D‑Sub 公头

真空法兰：DN16 ISO‑KF

允许烘烤温度：法兰最高 110℃

工作环境温度：5℃~50℃；存储‑40℃~+65℃

真空接触材质：Al₂O₃陶瓷、AISI316L 不锈钢

执行标准：CE、RoHS，符合 EN61010 安全标准INFICON

主要用途

变压器真空注油设备、真空干燥设备、半导体工艺腔体、镀膜设备、热处理真空炉、检漏设备；和 INFICON VGC503 控制器配套使用，实现真空压力采集、联锁报警；新项目配套，也用于现场备品替换，压力信号接入 PLC 控制系统。

安装要点

1. 采用 DN16‑KF 真空法兰安装，尽量垂直安装，减少介质沉降污染传感器膜片；避免振动、冲击。

2.15 针 D‑SUB 专用线缆连接 VGC503 控制器，线缆远离动力电缆，降低电磁干扰。

3. 法兰烘烤温度严禁超过 110℃，防止内部电子部件损坏。

4. 设备完成抽真空后，执行一键调零操作，保证零点精度。

5. 设定点根据工艺压力阈值进行配置，确认继电器接点接线逻辑。

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