产品概述

AstiPure PFD1 系列隶属于法国Saint-Gobain 圣戈班 Furon，属于气动控制流量波纹管泵，区别于常规隔膜泵，依靠双 PTFE 波纹管往复运动输送高纯腐蚀性药液；整机无任何金属接触介质部件，洁净室组装清洗，面向半导体、光伏、精细化工超高纯度化学品输送工况。

核心技术参数

驱动方式：气动驱动，气源介质为干燥压缩空气 / 氮气；标准供气压力 2～5 bar

流量范围：0～10 L/min（依靠气源压力、针阀无级调节）

排出压力：最大 5 bar；介质温度＞60℃上限下调至 3 bar

自吸能力：具备自吸功能

介质温度区间：0℃ ~ +100℃

接液材质

波纹管：高纯 PTFE；腔体、阀座：PFA；密封：FEP；其余承压部件 PVDF、PEEK

整机无金属湿态部件，杜绝金属离子析出污染药液

结构原理

双波纹管水平往复泵送，运行频率远低于隔膜泵，颗粒产生量极低；内置四组 PTFE 单向球阀；无旋转轴、无轴封泄漏风险。

重量：约 2.3kg

选配组件：可配套 AMC1 脉动缓冲器，降低流体脉动

产品核心特点

超低粒子生成：波纹管低频往复运动，相比气动隔膜泵，产生微颗粒数量大幅减少，适配高纯湿制程；

超强耐腐蚀性，可输送各类强酸、碱、有机溶剂；

洁净室出厂、超纯水清洗、双层真空包装，开箱即可用于高纯工艺；

气动防爆结构，无需供电，适合化学品防爆车间；

结构简洁，易拆解维护，备件更换便捷；

流量稳定、脉动小，可精准控制化学品输送剂量。

典型应用场景

半导体晶圆清洗、光伏电池制绒、湿法刻蚀工序；电子化学品输送；实验室高纯试剂循环输送；精细制药腐蚀性流体输送。

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