一、产品基础概况

德国 First Sensor（原 SENSORTECHNICS）原厂全新进口 MEMS 压阻微差压芯片，型号 SQ273-14300 为 Fritz Stephan 流体控制设备原厂配套专属维修替换元件，原厂整机多点校准出厂，附带溯源校准报告、CE、RoHS 合规文件。

硬件气嘴尺寸、DIP 引脚定义、模拟输出参数、内部温补算法与 Fritz Stephan 设备主控板完全原生匹配，现场直接拆装焊接替换，无需修改设备控制程序、无需转接工装。

采用硅压阻 STARe 传感工艺，芯片内置惠斯通电桥、全域温度补偿与信号调理电路，无机械活动结构，长期连续采集数值漂移极低，专为设备内部狭小气路腔体微量气体微压差实时采集设计。

二、核心测量与电气技术参数

压差测量性能

标准量程 0–100 mbar 微差压，适配设备低压气路动态压力采集；

整机综合典型精度 ±0.25% FS，非线性误差 ±0.15% FS，零点温漂 ±0.05% FS/℃；

阶跃响应时间＜1ms，可捕捉管路瞬时微弱压力波动，数据无滞后、无跳变；

过载耐受 2 倍额定压力，爆破压力 3 倍量程，短时 2kPa 冲击不会损坏传感单元；

抗振动 40g，适配设备持续震动运行工况。

供电与信号输出

标准模拟版本 DC5V±10V 供电，静态功耗低，满量程差分输出 20mV；

可选数字 I²C 输出：供电 3–5.5V，16 位压差采集同步附带 11 位片内测温；

金属外壳内置电磁屏蔽，防静电 2kV HBM，抗周边电控模块电磁干扰。

环境温域适配

整机运行温度 - 40℃～+85℃，原厂精准温度补偿区间 0℃～+50℃，可扩展至 70℃；

存储温度区间 - 40℃～+125℃；仅适配洁净干燥无腐蚀气态介质，避免水汽冷凝接触传感面。

三、机械封装、气路与电气接口规格

封装尺寸：金属气密 DIP-8 直插封装，9.8mm×9.8mm×7.2mm，标准 2.54mm 镀金引脚间距，可直接 PCB 焊接；

气路结构：单侧一体式 Φ2.5mm 硬质柱状导压气嘴，配套原装 NBR 密封 O 型圈，硅胶软管插接密封性优异，杜绝漏气造成测量失真；

壳体工艺：金属气密外壳满足 MIL-STD-883 气密性标准，内部环氧树脂真空密封，防尘、抗冲击，适合设备内部紧凑狭小安装空间。

四、Fritz Stephan 设备专属匹配优势

原厂配套标定，量程、输出灵敏度、零点参数出厂预设适配设备主控采集逻辑，更换上电后无需二次校准；

标准化气嘴、引脚结构与原厂原配芯片完全一致，单人快速拆装，大幅缩短设备停机维保时长；

原厂批量一致性管控，多台设备替换后压差测量数值统一，成套流体系统无需逐台复测；

金属屏蔽封装优化，设备内部电控模块密集环境下，不会出现数值漂移、干扰跳变问题。

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