一、品牌与型号释义
Furon 隶属于法国圣戈班 Saint-Gobain，欧洲原厂洁净流体阀门品牌，UPM 系列是半导体、光伏专用高纯耐腐蚀隔膜阀产品线。
UPM3：3 通气动隔膜阀系列，气动驱动、NC 常闭标准流路
888：接口规格编码，代表 1/2 英寸 Nippon Pillar Super300 高纯扩口接头，通径 1/2"，对应型号后缀 S30088 完整规格代码
产品定位：高纯度酸碱药液输送核心流体备件，整机无外露金属，适配强腐蚀超高纯工艺介质管路自动切换。
二、阀体材质与接触介质结构
过流主体阀体：模塑高纯 PFA，无析出、无离子污染
密封隔膜：改性纯 PTFE，耐氢氟酸 HF、浓盐酸、强碱、有机溶剂
上盖执行器外壳：ETFE 氟塑料
整机无任何金属接触介质，完全杜绝金属离子污染晶圆、光伏基板
流道全圆弧扫掠式设计，无死角积液，不易结晶、滋生残留污染物，百级洁净室组装、双层真空包装出厂Furon
三、流体压力、温度性能参数
额定工作压力（常温）：最大 100psig（6.9bar），背压耐受最高 100psig
介质工作温度：-53℃ ~ +95℃；环境最高 50℃
流量系数 Cv=3.2（1/2 寸通径），药液输送流量稳定
气动驱动气源压力：4.8~6.2bar（70~90PSI），气源接口 1/8" UNF 内螺纹
标配泄漏检测监测口，可实时监控隔膜破损渗漏风险
四、机械与气动功能特性
三通流路布局：公共 COM 口、常闭 NC 口、常开 NO 口，气源通气切换流路，实现药液分配、回路切换、排空功能
顶部红色可视化位置指示，现场直观判断阀门开关状态，可选光纤感应信号反馈模块，接入 PLC 做电气状态采集
一体式旋转安装底座，阀体可 360° 旋转固定，适配狭小设备机架多方向管路布局
气动执行器寿命≥300 万次往复动作，隔膜耐疲劳不易开裂
可选手动锁定装置，检修时强制锁死阀位，防止误动作漏液
五、耐化学适配介质
可长期输送超高纯水 DI、氢氟酸、硫酸、硝酸、氨水、各类蚀刻清洗药液、光伏制绒腐蚀液、光刻配套化学品、高固含研磨浆料；完全兼容所有强腐蚀、高纯电子级工艺流体。
六、配套电气 / 自动化拓展备件
阀位光线感应传感器：无源 / PNP 信号输出，反馈阀门开、关到位信号，接入控制柜 PLC 联锁
气动电磁阀配套：24V DC 微型二位五通阀，驱动 UPM3 阀体自动切换
渗漏检测信号端子：隔膜破损泄漏时输出报警开关量
同系列损耗备件：PTFE 隔膜片、PFA 扩口接头、密封垫圈、气动执行器膜片
七、典型应用设备场景
半导体晶圆刻蚀、清洗机台药液分配管路核心切换阀备件
光伏电池片制绒、清洗、酸洗设备流体控制系统
平板显示 LCD/OLED 蚀刻高纯化学品输送系统
实验室高纯酸碱自动供给装置、精细化工高纯试剂管路
锂电正极材料腐蚀浆料输送自动化产线
八、核心产品优势
全氟塑料无金属过流，满足电子行业超高纯度工艺要求，不会污染基板、芯片
耐全品类强腐蚀酸碱，替代不锈钢阀门解决腐蚀渗漏、金属析出问题
气动三通一体集成，一台阀实现多路流体切换，简化管路布局、减少接头渗漏点
自带漏液监测 + 阀位可视化，设备故障提前预警，降低产线停机风险
对于需要进一步了解或采购相关产品的用户，建议联系上海萨帛机电控制系统有限公司info@sahbore.com，以获取详细的技术规格和专业的客户支持
