德国NUMERIK LIA20-C001-FO14 NAS光栅尺（Nr: 384381-H5）核心参数与性能分析

一、核心参数

分辨率

支持多级细分信号输出，最高可达 0.05μm，最小测量步距为 50纳米，满足超精密测量需求。

基础分辨率选项包括：1μm、0.5μm、0.1μm，可根据应用场景灵活配置。

精度

尺带精度：±1μm/m（双层尺带设计），确保长距离测量时误差可控。

动态补偿技术：通过电子振幅和偏移补偿，显著降低高速运动下的插值误差，提升全速度范围内稳定性。

速度性能

最大允许速度：10m/s（正弦信号输出），适用于高速运动控制场景。

高分辨率模式（0.1μm）下，允许速度仍可达 1.6m/s，兼顾精度与效率。

输出信号

支持 1Vpp（模拟量）或 RS422（数字量）输出，兼容多种控制系统。

15针D-Sub连接器集成信号处理电路，无需额外电子模块。

结构与安装

扫描头尺寸：34mm×13.2mm×12.4mm，重量≤20g，便于紧凑空间部署。

尺带材料：不锈钢，热膨胀系数 10.5×10⁻⁶/℃，可选自粘式背胶固定，简化安装流程。

支持多种安装方式，适应不同机械结构需求。

环境适应性

双场扫描（EPIFLEX技术）设计，降低污染（如粉尘、油污）对信号的影响，提升恶劣环境下的可靠性。

电缆弯曲半径：恒定弯曲≥40mm，偶尔弯曲≥8mm，适应动态运动场景。

二、技术优势

高精度与高速度的平衡

通过信号插值和动态补偿技术，在0.05μm分辨率下仍能保持10m/s的运动速度，远超同类产品水平。

抗污染能力突出

双场扫描结构可过滤污染干扰，减少信号失真，适合半导体制造、金属加工等环境。

安装灵活性

紧凑型读头设计，配合自粘尺带和多种安装选项，降低对机械结构的适配要求。

信号稳定性

内置分割器支持×5至×100倍细分，输出信号平滑，减少控制系统处理负担。

三、典型应用场景

半导体设备

晶圆传输、光刻机定位等需纳米级精度的场景。

金属加工机床

高精度数控铣床、磨床的线性轴位置反馈。

线性马达系统

高速运动控制中的实时位置检测。

测量设备

三坐标测量机、激光干涉仪等精密仪器的校准参考。

四、选型建议

追求极致精度：选择 0.05μm分辨率 配置，搭配双层尺带（DOUBLEFLEX）以消除热应力影响。

高速运动场景：优先 1Vpp输出，确保10m/s速度下的信号稳定性。

恶劣环境应用：确认双场扫描功能，并选择防护等级更高的连接器及电缆。

预算敏感型项目：可考虑基础分辨率（1μm）版本，平衡性能与成本。

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